经初步调查，事故起因为一楼废酸液（含双氧水与盐酸）回收管路破裂，导致气体外泄。此次事件未涉及毒化物使用和贮存区域，因此未被认定为毒化物泄漏事故。

微观世界 硅烷 磷化氢 晶圆厂 砷化氢 2025-10-07 20:37  5